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近日,池田屋实业有限公司宣布正式推出瑞士VAT公司25.0系列HV气动角阀(型号:25024-KA14)。该产品采用铝制阀体与气动双作用执行器,压力范围覆盖1×10⁻⁸mbar至3bar(绝对压力),泄漏率低于1×10⁻⁹mbar·L/s,适配DN 16(⅝英寸)口径与ISO-KF法兰,电导5L/s,闸板压差≤3bar,关闭时间0.6秒。该型号为严苛真空工艺提供最大电导与高可靠性的角式隔离解决方案。
正文:
在半导体制造、真空镀膜、分析仪器及研究实验等真空应用中,气动角阀是实现真空管路通断与腔室隔离的关键元件之一。在严苛工艺环境下,阀门不仅需要在大压差条件下可靠动作,还需保持最大电导与优异密封性能,以减少流阻对工艺的影响。针对这一行业需求,池田屋实业有限公司正式引入瑞士VAT公司25.0系列HV气动角阀(型号:25024-KA14)。该产品的推出,为严苛真空工艺提供了兼具最大电导、高耐压能力与气动远程控制的角式隔离解决方案。
型号25024-KA14的核心技术优势在于其最大电导设计、高耐压能力与气动双作用执行的协同配合。该产品采用气动双作用执行器,关闭时间0.6秒,动作可靠稳定。压力范围覆盖1×10⁻⁸mbar至3bar(绝对压力),闸板压差≤3bar,可满足从高真空到较高压力的宽范围工况需求。泄漏率低于1×10⁻⁹mbar·L/s,密封性能可靠。适配DN 16(⅝英寸)口径与ISO-KF法兰,电导5L/s,开口处压差≤1.2bar。阀体材质为铝,重量1.4kg,结构紧凑。阀体最高耐受温度120℃,执行器最高120℃。气缸容积0.032L,最大压缩空气压力8bar,最小4bar。
在结构设计与操作灵活性层面,25024-KA14同样表现。产品提供多种升级选项,包括客户特定法兰、不同规格电磁阀、一键式气动接头、位置指示器和电磁阀的通用连接器、替代密封材料及DN40加热棒等,用户可根据实际应用需求灵活配置。
从典型应用场景来看,型号25024-KA14适用于半导体制造设备中需要最大电导的真空管路隔离、真空镀膜系统的腔室通断控制、分析仪器与质谱仪的真空切换,以及各类严苛真空工艺的角式隔离应用等场景。池田屋技术团队指出,25.0系列在精密测量与自动化控制方面表现稳健,是严苛真空工艺角式隔离应用的理想选择。
池田屋实业有限公司表示,此次将VAT 25.0系列HV气动角阀25024-KA14引入国内市场,旨在为本土半导体与制造企业提供兼具最大电导、高耐压能力与气动控制的真空隔离流体管理解决方案。未来,池田屋将持续围绕精密测量、自动化控制与流体管理三大方向深耕,助力中国真空技术的装备升级与效能提升。
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