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近日,池田屋实业有限公司宣布正式推出瑞士VAT公司28.4系列超高真空角阀(型号:28432-GE11)。该产品采用不锈钢阀体与气动单作用常闭执行器,压力范围覆盖1×10⁻¹⁰mbar至5bar(绝对压力),泄漏率低于5×10⁻¹⁰mbar·L/s,适配DN 40(1½英寸)口径与CF-R可旋转法兰,电导45L/s,闸板压差≤5bar,关闭时间0.55秒。该型号专为极低气体逸出性能要求的超高真空应用设计,为半导体、研究及高能物理等领域提供高可靠性、低释气的超高真空隔离解决方案。
正文:
在半导体制造、表面科学、高能物理及同步辐射等超高真空应用领域,真空阀门不仅需要在极低压力下实现可靠隔离,还需满足极低气体逸出(释气)性能的严苛要求。气体逸出可能导致真空度下降、工艺污染或测量误差,对超高真空系统的性能产生严重影响。传统阀门在超高真空环境下的释气性能难以满足要求,限制了其在应用中的使用。针对这一行业需求,池田屋实业有限公司正式引入瑞士VAT公司28.4系列超高真空角阀(型号:28432-GE11)。该产品的推出,为超高真空系统提供了兼具极低气体逸出、高耐压能力与气动控制的角式隔离解决方案。
型号28432-GE11的核心技术优势在于其超高真空设计与极低气体逸出性能的协同配合。该产品专为超高真空应用优化,压力范围覆盖1×10⁻¹⁰mbar至5bar(绝对压力),可满足从真空到正压的宽范围工况需求。泄漏率低于5×10⁻¹⁰mbar·L/s,密封性能优异。适配DN 40(1½英寸)口径与CF-R可旋转法兰,电导45L/s,闸板压差≤5bar,开口处压差≤1bar。采用气动单作用常闭执行器(带闭合弹簧,NC),关闭时间0.55秒。阀体材质为不锈钢,具有优异的耐腐蚀性与机械强度,阀体最高耐受温度150℃,执行器最高150℃。气缸容积0.035L,最大压缩空气压力8bar,最小4bar。
在结构设计与操作灵活性层面,28432-GE11同样表现。产品提供多种升级选项,包括客户特定法兰、不同规格电磁阀、一键式气动接头、位置指示器和电磁阀的通用连接器、替代密封材料及执行器烘烤温度提高至120℃等,用户可根据实际应用需求灵活配置。
从典型应用场景来看,型号28432-GE11适用于半导体制造中的超高真空传输与隔离、表面科学分析系统的真空隔离、高能物理实验装置的真空控制,以及同步辐射与自由电子激光装置的超高真空隔离等场景。池田屋技术团队指出,28.4系列在精密测量与自动化控制方面表现稳健,是超高真空系统低释气隔离应用的理想选择。
池田屋实业有限公司表示,此次将VAT 28.4系列超高真空角阀28432-GE11引入国内市场,旨在为本土半导体、研究及制造企业提供兼具极低气体逸出与高可靠性的真空隔离流体管理解决方案。未来,池田屋将持续围绕精密测量、自动化控制与流体管理三大方向深耕,助力中国超高真空技术的装备升级与效能提升。
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