池田屋新品 DONGBANG PLANTECH 干式真空泵 DBHP1000

摘要

DONGBANG PLANTECH推出干式真空泵新品DBHP1000，隶属DBHP系列。该新品通过差别化的螺杆设计形成高真空，既可用于单独装置，也可作为涡轮分子泵、低温泵及其他高真空系统的辅助泵。产品采用封闭式箱体结构，可在室内使用，配备特殊特氟龙涂层以应对毒性、腐蚀性及凝缩性气体，采用IEC法兰以便于安装，适用于半导体、显示屏、二次电池及太阳光等产业领域。

正文

在半导体、显示面板与新能源制造领域，真空环境是众多薄膜沉积、刻蚀与干燥工艺的基础条件，干式真空泵作为获得并维持真空环境的核心设备，其耐腐蚀性、运行稳定性与维护便利性直接影响产线的连续运行与运营成本。DONGBANG PLANTECH正式推出干式真空泵新品DBHP1000，该新品隶属DBHP系列，是通过差别化的螺杆设计而形成高真空的干式真空泵，使用于单独装置，也可以执行涡轮分子泵、低温泵分子泵及其他高真空系统的辅助泵的功能而设计。

DBHP1000新品在结构设计上注重简化与紧凑。该系列采用简化设计，实现小型经济化，并以封闭的箱子结构，在室内也可使用；较短的气体排出路径和优化的排气量，配合便携型设计，使移动较为便利，安装和分离也较为简单。在内部结构方面，该产品采用简单的内部结构，外壳与螺杆的非接触驱动延长了使用寿命，内部结构简单化让维修与维护更加容易，并可减少小故障；同时消耗较低的冷却水量与电力。

在耐腐蚀与气体处理方面，该系列采用了耐腐蚀性较好的特殊特氟龙涂层，对毒性、腐蚀性气体及凝缩性气体的处理较为容易。作为干式单螺距螺杆泵，该产品不需要为了形成真空泵内部油膜的油或水，因此没有污水及废水处理费用，属于绿色泵；且不受外部及内部环境的影响，长时间运行也能保持一定的真空度。在压力适应方面，螺杆的机械性回转形成真空，在所有压力范围都可连续运行，从高真空到低真空，没有根据真空度变化的消耗动力变化。在接口方面，该产品采用IEC法兰，增大顾客便利性，泵安装与移动时不需要对轴进行校中，安装较为简单。

在该系列的产品构成中，DBHP系列涵盖DBHP120、DBHP160、DBHP600、DBHP1000、DBHP1200、DBHP1800、DBHP3600、DBHP4800、DBHP40K、DBHP60K与DBHP70K等多个型号，覆盖从小抽速到大抽速的不同需求。此外，该公司产品线还包括DBVP变螺距系列、DBPW系列、DB系列、DBRV系列、DBLP系列与系统等类别，可为不同工艺环节提供配套选择。

在应用领域方面，该系列可用于半导体产业的CAD、腐蚀、薄膜喷镀、真空喷镀等工序；显示屏与宇宙航空、电气电子领域的LCD、PDP、OLED、AMOLED、ION注入、METAL LINE、3D GLASS、植牙、素材等离子体等工艺；二次电池与太阳光产业的锂电池原料、乙烯基复合产业等场合；此外还可作为涡轮分子泵等辅助真空泵的备份用。