池田屋新品 入江工研 CF规格成形波纹管 CF114

摘要

入江工研株式会社（IKC）推出CF规格成形波纹管新品CF114。该产品两端配CF法兰（Conflat Flange），波纹管采用SUS316L材质，法兰采用SUS304L材质。内径50.1mm，外径65.0mm，板厚0.15mm，波纹管自由长60.0mm，法兰外径113.5mm，厚度17.5mm。产品使用温度为20℃（烘焙时最高250℃），氦气泄漏率小于1×10⁻⁹ Pa·m³/s，重复寿命1×10⁴次，适用于半导体、液晶、加速器等要求超高真空的密封系统。

正文

在半导体制造、液晶面板生产及各类超高真空设备中，金属波纹管作为吸收位移、隔离振动并提供气密性密封的关键部件，其泄漏率与耐压性能直接影响真空腔体的极限真空度与运行稳定性。入江工研株式会社（IKC）正式推出CF规格成形波纹管新品CF114。

CF114新品采用CF法兰（Conflat Flange）连接，这种法兰常用于要求超高真空的场合。在结构上，该产品波纹管采用SUS316L不锈钢，法兰采用SUS304L不锈钢。其采用IKC的液压成形法制作，相比滚压成形法，具有精度更高、应力分布均匀、批量生产质量一致性好等特点。

在规格尺寸方面，CF114的内径（Bi）为50.1mm，外径（Bo）为65.0mm，板厚0.15mm。波纹管自由长度（ℓ）为60.0mm，法兰外径（D）113.5mm，法兰厚度（T）17.5mm，孔距（C）92.2mm，法兰采用8-8.5的安装孔，L尺寸作动范围为83～107mm。该型号的轴向弹簧常数为6.8N/mm，有效面积为26.0cm²。产品标准配置为固定法兰通孔型，也可按要求制作旋转法兰通孔型。

在性能参数方面，CF114的使用条件为内部真空、外部大气压，使用温度为20℃（烘焙时最高250℃）。经过氦气检漏测试，其氦气泄漏率小于1×10⁻⁹ Pa·m³/s，符合高真空系统的气密性要求。在标称行程下的重复寿命为1×10⁴次。

在该系列的产品构成中，CF规格成形波纹管涵盖CF34、CF70、CF114、CF152、CF203与CF253等多个型号，内径从9.7mm覆盖至180.0mm，可满足不同管路口径的位移补偿与密封需求。此外，IKC还提供IF规格、IC规格、KF规格、KP规格及PF规格等多种法兰接口形式的成形波纹管。

在应用与使用方面，该产品广泛用于半导体、液晶、加速器、核聚变等领域的真空密封。用户在安装时需特别注意，波纹管不能承受旋转或扭转方向的位移，安装时切勿使波纹管产生扭曲；同时应避免工具磕碰损伤波纹管，并在规定的压力与伸缩量范围内使用。该产品自出厂之日起提供18个月的质保期。