池田屋精品INFICON英富丽LDS3000 氦气泄漏检测器产品介绍技术参数

一、产品定位：紧凑型检漏领域的性能

INFICON英富丽LDS3000氦气泄漏检测器是一款专为真空检漏场景打造的高性能检测设备，作为LDS2010的升级迭代产品，它在检测精度、响应速度与集成灵活性上实现了全面突破，成为汽车、制冷、半导体等行业自动化检漏系统的核心组件。其紧凑设计与高效性能的结合，既满足了工业产线对空间利用率的严苛要求，又能为高精度密封检测提供可靠支持。

二、核心技术与性能参数

1. 多模式高精度检测能力LDS3000配备四种检测模式，可覆盖从微泄漏到粗泄漏的全范围检测需求：ULTRA模式下最小可检测泄漏率<1E-11 mbar·l/s，FINE模式<5E-11 mbar·l/s，GROSS模式<1E-9 mbar·l/s，Sniffer模式<1E-7 mbar·l/s，测量单位支持mbar·l/s、Pa•m³/s、Atm cm³等多种形式^。这种多模式设计使其既能满足半导体制造中极限真空的微泄漏检测，也能应对汽车管路等部件的粗泄漏排查。

2. EcoBoost节能省气技术搭载EcoBoost技术，通过智能算法实时预测示踪气体背景变化，可在测试周期早期精准识别泄漏点，同时将氦气消耗量降低90%，每年可减少约5000吨温室气体排放^。配合INFICON提供的氦气计算工具，用户可根据测试参数量化成本节省，实现绿色高效的检漏作业。

3. 高效集成与便捷操作设备尺寸仅为330×240×280mm，可无缝集成到各类自动化测试系统中，支持最长30米的电缆连接距离，通过模拟量、数字量及现场总线接口实现多样化通信^。采用I·CAL算法优化响应速度，新型校准程序可在20秒内完成校准，双灯丝离子源提供3年保修期，显著降低长期使用成本。

三、典型应用场景

1. 汽车制造领域广泛应用于安全气囊部件、制动管路、燃油管路及液压部件的密封性检测，确保汽车关键系统无泄漏风险，提升整车安全性与可靠性。在新能源汽车生产中，可用于电池冷却系统、氢燃料管路的高精度检漏，保障新能源动力系统的稳定性。

2. 制冷与空调行业针对蒸发器、冷凝器、压缩机等制冷核心部件，LDS3000可快速检测微小泄漏，避免制冷剂流失导致的能耗增加与性能下降。其衍生型号LDS3000 AQ采用累积检漏法，可使用合成气体或氦气，以接近空气测试的成本实现与真空测试相当的精度，特别适合大型空调组件、加热部件的泄漏检测。

3. 半导体与精密制造在半导体晶圆加工设备、真空腔体的维护与生产中，ULTRA模式的超高灵敏度可检测到<1E-11 mbar·l/s的微泄漏，保障真空环境稳定性，避免因泄漏导致的工艺缺陷与产品良率下降。同时，设备的紧凑设计与远程控制能力，适配半导体洁净车间的特殊环境要求。

四、LDS3000 AQ衍生型号优势

作为LDS3000的产品变体，LDS3000 AQ创新采用累积检漏技术，支持合成气体（95%N₂+5%H₂）与氦气双模式检测，最小可检漏率低至10⁻⁵ mbar·l/s^。该型号不受温度与湿度影响，测试结果重复性高，可替代传统压力衰减法，为温暖、潮湿或大型部件提供可靠检测方案，同时将检测成本降低至接近空气测试水平。