池田屋原装INFICON英富丽 UL6000 Fab氦气泄漏检测器产品介绍技术参数

一、产品定位：旗舰级移动式检漏

INFICON UL6000 Fab氦气泄漏检测器是UL移动式氦气检漏仪产品组合中的旗舰型号，专为满足半导体、太阳能电池制造、平板显示器等行业中大型工艺设备的严苛检漏需求而生。它以行业的检测速度、超高灵敏度和稳定可靠的性能，成为制造领域保障设备真空密封性、提升产品良率的核心装备。

二、核心技术与性能优势

1. 极速检测架构设备搭载创新的 booster 涡轮分子泵，氦气抽速可达36升/秒，配合抽气能力为36立方米/小时的罗茨粗抽泵，能在极短时间内完成大容积腔体的抽真空作业，相比同类设备，针对50至1000升的大型工装，每次测试可节省数分钟时间。同时，其独特的真空架构可在宽压力范围内维持高抽速，确保检测响应速度与信号强度。

2. 智能算法赋能内置INFICONI·CAL智能泄漏率计算算法与HYDRO·S氢气抑制算法，前者确保在10^-9至10^-12 mbar·l/s的全测量范围内实现快速响应，后者可快速抑制环境中氢气干扰，大幅缩短测试准备时间。UL6000 Fab PLUS型号更配备I·RISE智能上升率功能，将压力上升测量与氦气喷射法结合，使测量时间大幅缩短，最多可节省50%的检漏时长。

3. 超高灵敏度与可靠性采用ULTRATEST™传感器技术与经多年验证的扇形磁场质谱仪，能稳定检测低至5×10^-12 mbar·l/s的极小漏率，且具备免维护设计，长期使用仍能保持数据的准确性与重复性。设备还拥有自我保护机制，可抵御氦气与粒子污染，自动冲净周期确保随时可用。

三、技术参数

• 检测灵敏度：真空模式下<5×10^-12 mbar·l/s，吸枪模式下<5×10^-8 mbar·l/s

• 抽气系统：booster涡轮分子泵（氦气抽速36L/s）+罗茨粗抽泵（抽气能力36m³/h）

• 接口配置：标配DN63 ISO-K进气法兰，可选DN40适配器

• 启动与校准时间：开机时间<2分钟，校准时间<30秒

• 物理规格：尺寸1050×427×1040mm，重量143kg

四、典型应用场景

1. 半导体制造：针对晶圆加工设备腔体、真空法兰、冷却管路等关键部位，检测极限泄漏率低于1×10^-9 mbar·l/s的微小泄漏，保障光刻、沉积等工艺的真空环境稳定性，避免因泄漏导致的产品良率下降。

2. 光伏与平板显示：在PECVD、ALD等镀膜设备中，精准检测密封接头与电极连接处的泄漏，防止杂质污染影响电池效率与显示面板质量。

3. 大型真空系统维护：适用于科研实验室粒子加速器、航天模拟舱等对真空度要求严苛的设备，提升维护响应速度与系统可靠性，减少停机维护时间。