池田屋原装INFICON英富丽UL6000 Fab PLUS氦气泄漏检测器产品介绍技术参数

一、产品定位与核心优势

INFICON UL6000 Fab PLUS氦气泄漏检测器是专为半导体、光伏、平板显示等制造领域打造的旗舰级检漏设备，在UL6000 Fab系列基础上升级而来，凭借灵敏度、超快检测速度与智能集成功能，成为大容积真空设备泄漏检测的理想选择^。该设备搭载INFICONI·RISE智能上升率技术，可将传统压力上升测试与氦气喷射法合二为一，将大容积设备检漏时间压缩至传统方法的1/5以内，同时保持对微小泄漏的精准捕捉能力。

二、核心技术与性能参数

1. 超高灵敏度检测系统采用ULTRATEST™高灵敏度质谱技术，可精准检测原子量2、3、4的气体，真空模式下最小可检测泄漏率<5×10⁻¹² mbar·l/s，吸枪模式下最小可检测泄漏率<5×10⁻⁸ mbar·l/s，轻松捕捉半导体制造中影响产品良率的微米级泄漏^。搭配多入口涡轮分子泵，在ULTRA真空模式下DN63法兰接口氦气抽速可达36L/s，确保泄漏信号快速响应，50升容积设备响应时间仅约1.4秒。

   智能软件算法矩阵内置I·CAL智能泄漏率计算算法，可自动适配不同测试环境，在全量程范围内实现快速响应；HYDRO·S氢气抑制技术能有效降低环境中氢气干扰，缩短测试准备时间。I·RISE功能可在10秒内完成压力上升率测量，结合氦气喷射法同步定位泄漏点，大幅减少设备停机维护时间。

2. 关键技术参数

• 机械规格：尺寸1050mm×472mm×1040mm，重量约144kg，配备DN63 ISO-K进气法兰，支持DN40适配器兼容小口径设备

• 电气性能：100-240V宽电压输入，功耗1500VA，真空抽气时典型功耗1000VA，测量运行时低至800VA

• 效率指标：50升容积抽至1mbar仅需52秒，校准时间<30秒，系统启动时间<2分钟，支持USB、以太网、HDMI等多接口数据传输

三、典型应用场景

1. 半导体制造领域针对晶圆制造设备、真空镀膜腔体、光刻系统等大容积真空部件，可快速检测出<1×10⁻⁹ mbar·l/s的微小泄漏，避免因真空度不足导致的晶圆污染与工艺缺陷，提升产品良率^。在设备维护阶段，I·RISE技术可快速完成整体泄漏评估与精准定位，将单台设备维护时间从数小时缩短至几十分钟。

2. 光伏与平板显示行业适用于PECVD镀膜设备、玻璃基板传输系统等大型真空装置的泄漏检测，确保镀膜工艺稳定性，减少因泄漏导致的薄膜不均匀问题。对于卷对卷镀膜设备，可在生产线不停机状态下进行在线检漏，保障连续生产效率。

3. 航空航天与科研领域满足卫星真空模拟舱、火箭发动机部件等高精度真空系统的泄漏检测需求，在环境下仍能保持稳定检测性能，为航天产品可靠性提供保障。