池田屋原装INFICON英富丽UL1000 Fab 氦气检漏仪（干式）产品介绍技术参数

一、产品定位与核心优势

INFICON UL1000 Fab干式氦气检漏仪是专为半导体制造及工业检漏场景打造的高性能检测设备，凭借干式泵技术、ULTRATEST™传感器技术与I-CAL算法，成为真空泄漏检测领域的“干式标准"。它平衡了超高灵敏度、快速响应与低污染特性，既能满足半导体fab对清洁度的严苛要求，也能适配工业环境下高负荷、多场景的检漏需求，为用户提供兼具精准性与经济性的检漏解决方案。

二、核心功能与技术特点

1. 超灵敏与快速响应通过优化的真空架构，UL1000 Fab实现了低至<5×10⁻¹² mbar·l/s的真空模式检漏灵敏度，搭配I-CAL智能泄漏率计算算法，在低泄漏率范围也能实现秒级响应——从1×10⁻¹² mbar·l/s的背景值检测到1×10⁻¹⁰ mbar·l/s的微小泄漏仅需不到1秒，解决传统检漏仪在低量程下响应缓慢的痛点。同时，其15个数量级的宽测量范围，可覆盖从超微泄漏到较大泄漏的全量程检测，无需更换设备即可完成多场景测试。

2. 干式清洁与污染防护采用干式涡旋泵与多入口涡轮分子泵组合，消除了油雾污染风险，避免被测部件或设备被碳氢化合物、颗粒污染，特别适配半导体制造中对清洁度要求的场景^。设备还具备自保护功能，可防止氦气与微粒污染内部组件，自动吹扫循环能快速清理腔体，确保每次测试前设备处于状态。

3. 高机动性与易用设计全金属外壳搭配集成滚轮，整机重量110kg，尺寸为1068×525×850mm，可轻松穿梭于fab车间或工业场地的狭窄空间^。可旋转的彩色显示屏支持数字、柱状图、趋势图等多种显示模式，关键功能一键触达，菜单式操作界面简单直观，还可通过无线遥控器实现远程操控，进一步提升操作便利性。

三、技术参数

四、典型应用场景

1. 半导体制造适配IC封装、石英晶体、激光二极管等密封部件的检漏测试，符合MIL-STD 883/843 Method 1014标准，可快速定位微米级泄漏点，保障晶圆加工设备腔体、真空法兰等关键部位的真空稳定性，提升产品良率。

2. 工业设备维护用于航空航天模拟舱、粒子加速器等科研真空系统，以及光伏PECVD镀膜设备、锂电池生产设备的泄漏检测，在高负荷、高要求的场景下实现精准、高效的检漏作业。

3. 电子元器件检测针对密封继电器、接插件等电子产品，可完成批量、高循环率的密封性能测试，确保产品在严苛环境下的可靠性。