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Product Category池田屋推出光津精机（Kohzu Precision）品牌MVZA07A-X103真空兼容Z轴平台。该产品为垂直安装的真空兼容型自动Z轴平台，采用精密十字滚轮导轨，台面尺寸70×70mm，行程±10mm，重复定位精度≤±0.5μm，适用于真空环境下的垂直精密定位与测量应用。
一、产品概述
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 产品名称 | 真空兼容Z轴平台 |
| 型号 | MVZA07A-X103 |
| 品牌 | 光津精机（Kohzu Precision） |
| 台面尺寸 | 70mm × 70mm |
| 导向方式 | 精密十字滚轮导轨 |
| 活动范围 | ±10mm |
| 进给方式 | 研磨丝杠，导程0.5mm |
| 材质 | 铝合金 |
| 本体重量 | 约1.4kg |
| 安装方向 | 垂直安装 |
二、运动与分辨率
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 分辨率（全步/半步） | 1.0μm / 0.5μm |
| 分辨率（微步进1/20格） | 0.05μm |
| 最高速度 | 2.5mm/s（5kHz半步） |
| 重复定位精度 | ≤±0.5μm |
| 失动量 | ≤1.5μm |
| 垂直度 | ≤7μm/20mm |
三、承载能力
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 水平承载能力 | 49N（5kgf） |
四、电气规格
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 电机 | 真空兼容5相步进电机 |
| 额定电流 | 1.4A/相 |
| 基本步进角 | 0.72° |
| 连接器类型 | 真空兼容D-sub 9针连接器（Accu-Glass Products 9D-HVCP） |
五、核心特点
垂直安装Z轴定位：专为垂直方向精密定位设计，适用于真空环境下的升降和高度调整。
高精度定位：重复定位精度≤±0.5μm，微步进分辨率0.05μm，满足高精度垂直定位需求。
精密十字滚轮导轨：采用精密十字滚轮导轨，确保垂直运动的高刚性和低摩擦。
研磨丝杠进给：采用高分辨率研磨丝杠（导程0.5mm），实现平滑、精确的垂直运动。
真空兼容设计：采用真空兼容型5相步进电机和真空兼容连接器，适用于真空环境。
六、典型应用场景
| 应用领域 | 具体用途 |
|---|---|
| 真空环境 | 真空腔体内的垂直精密定位 |
| 半导体制造 | 真空工艺中的晶圆高度调整 |
| 表面分析 | XPS、AES等真空分析设备的样品Z轴定位 |
| 薄膜沉积 | 溅射、蒸镀等真空工艺中的基板高度调整 |
| 同步辐射 | 真空光束线中的光学元件垂直定位 |
| 科研实验 | 真空环境下的精密高度测量与定位 |
七、使用注意事项
本产品为垂直安装型Z轴平台，安装时需注意方向
使用前需确认真空兼容电机的规格和连接器类型
安装时需注意真空环境下的散热和材料放气特性
水平承载能力49N（5kgf），请勿超载使用
垂直度≤7μm/20mm，确保运动垂直性
建议在清洁环境中安装，避免颗粒污染
池田屋表示，光津精机MVZA07A-X103真空兼容Z轴平台凭借垂直安装设计、≤±0.5μm重复定位精度及真空兼容性能，可满足真空环境下的高精度垂直定位需求。
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