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Product Category池田屋推出光津精机（Kohzu Precision）品牌MVZA16A-W2C01真空兼容Z轴平台。该产品为楔形真空兼容型自动Z轴平台，采用精密十字滚轮导轨，台面尺寸160×160mm，行程±8mm，重复定位精度≤±0.5μm，水平承载能力196N（20kgf），适用于真空环境下的高精度垂直定位与测量应用。
一、产品概述
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 产品名称 | 真空兼容Z轴平台 |
| 型号 | MVZA16A-W2C01 |
| 品牌 | 光津精机（Kohzu Precision） |
| 台面尺寸 | 160mm × 160mm |
| 导向方式 | 精密十字滚轮导轨 |
| 活动范围 | ±8mm |
| 进给方式 | 1/4"楔形，滚珠丝杠，导程1.0mm |
| 材质 | 铝合金 |
| 本体重量 | 约7.1kg |
二、运动与分辨率
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 分辨率（全步/半步） | 0.5μm / 0.25μm |
| 分辨率（微步进1/20格） | 0.025μm |
| 最高速度 | 1.25mm/s（5kHz半步） |
| 重复定位精度 | ≤±0.5μm |
| 失动量 | ≤±0.5μm |
| 垂直度 | ≤10μm/16mm |
三、承载能力
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 水平承载能力 | 196N（20kgf） |
四、电气规格
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 电机 | 真空兼容5相步进电机 |
| 额定电流 | 1.4A/相 |
| 基本步进角 | 0.72° |
| 连接器类型 | 真空兼容D-sub 9针连接器（Accu-Glass Products 9D-HVCP） |
五、核心特点
楔形Z轴设计：采用楔形结构实现高精度垂直运动，适用于大台面精密定位。
超高分辨率：微步进分辨率0.025μm，实现纳米级垂直定位精度。
高精度定位：重复定位精度≤±0.5μm，失动量≤±0.5μm，确保垂直定位的精确性。
大台面尺寸：台面尺寸160×160mm，可承载较大尺寸工件。
高承载能力：水平承载能力196N（20kgf），可承载较重工件。
精密十字滚轮导轨：采用精密十字滚轮导轨，确保垂直运动的高刚性和低摩擦。
高耐久性滚珠丝杠：采用高耐久性滚珠丝杠，确保长期稳定运行。
真空兼容设计：采用真空兼容型5相步进电机和真空兼容连接器。
六、典型应用场景
| 应用领域 | 具体用途 |
|---|---|
| 真空环境 | 真空腔体内的大台面垂直精密定位 |
| 半导体制造 | 真空工艺中的大尺寸晶圆高度调整 |
| 表面分析 | XPS、AES等真空分析设备的样品Z轴定位 |
| 薄膜沉积 | 溅射、蒸镀等真空工艺中的大尺寸基板高度调整 |
| 同步辐射 | 真空光束线中的光学元件垂直定位 |
| 科研实验 | 真空环境下的精密高度测量与定位 |
七、使用注意事项
本产品为楔形Z轴平台，采用滚珠丝杠进给方式
使用前需确认真空兼容电机的规格和连接器类型
安装时需注意真空环境下的散热和材料放气特性
水平承载能力196N（20kgf），请勿超载使用
垂直度≤10μm/16mm，确保运动垂直性
建议在清洁环境中安装，避免颗粒污染
池田屋表示，光津精机MVZA16A-W2C01真空兼容Z轴平台凭借楔形设计、0.025μm超高分辨率及196N高承载能力，可满足真空环境下的高精度垂直定位需求。
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