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Product Category池田屋推出光津精机（Kohzu Precision）品牌MVSA13A-RM01真空兼容旋转平台。该产品为采用精密十字滚轮导轨的真空兼容型自动旋转平台，台面尺寸130×130mm，旋转范围±10°，分辨率0.00009°（微步进），水平承载能力98N（10kgf），适用于真空环境下的精密角度定位与调整应用。
一、产品概述
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 产品名称 | 真空兼容旋转平台 |
| 型号 | MVSA13A-RM01 |
| 品牌 | 光津精机（Kohzu Precision） |
| 台面尺寸 | 130mm × 130mm |
| 导向方式 | 精密十字滚轮导轨 |
| 旋转范围 | ±10° |
| 进给方式 | 蜗杆和蜗轮 1/400 |
| 材质 | 铝合金 |
| 本体重量 | 约5.1kg |
| 工作距离 | 173mm ±0.5mm |
二、运动与分辨率
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 分辨率（全步/半步） | 0.0018° / 0.0009° |
| 分辨率（微步进1/20格） | 0.00009° |
| 最高速度 | 4.5°/s（5kHz半步） |
| 失动量 | ≤0.01° |
| 背隙 | ≤0.006° |
| 旋转中心位移 | φ0.05mm/±10° |
三、刚性
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 弯矩刚度 | 0.02角秒/N·cm |
| 水平承载能力 | 98N（10kgf） |
四、电气规格
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 电机 | 真空兼容5相步进电机 |
| 额定电流 | 1.4A/相 |
| 基本步进角 | 0.72° |
| 连接器类型 | 真空兼容D-sub 9针连接器（Accu-Glass Products 9D-HVCP） |
五、核心特点
真空兼容旋转定位：专为真空环境设计的自动旋转平台，适用于真空腔体内的精密角度调整。
超高角度分辨率：微步进分辨率0.00009°，实现精度的角度定位。
高精度蜗杆蜗轮驱动：采用蜗杆和蜗轮进给方式（减速比1/400），确保平滑、精确的旋转运动。
大台面大承载：台面尺寸130×130mm，水平承载能力98N（10kgf），可承载较大工件。
铝合金材质：主体采用铝合金材质，轻量化且具有良好的真空兼容性。
精密十字滚轮导轨：采用精密十字滚轮导轨，确保旋转运动的高刚性和稳定性。
六、典型应用场景
| 应用领域 | 具体用途 |
|---|---|
| 真空环境 | 真空腔体内的大台面精密角度定位 |
| 半导体制造 | 真空工艺中的大尺寸晶圆角度调整 |
| 表面分析 | XPS、AES等真空分析设备的样品角度定位 |
| 薄膜沉积 | 溅射、蒸镀等真空工艺中的大尺寸基板角度调整 |
| 同步辐射 | 真空光束线中的光学元件角度定位 |
| 科研实验 | 真空环境下的精密角度测量与定位 |
七、使用注意事项
本产品为真空兼容型旋转平台，但真空度等级需根据具体配置确认
使用前需确认真空兼容电机的规格和连接器类型
安装时需注意真空环境下的散热和材料放气特性
水平承载能力98N（10kgf），请勿超载使用
旋转中心位移φ0.05mm/±10°，确保旋转精度
建议在清洁环境中安装，避免颗粒污染
池田屋表示，光津精机MVSA13A-RM01真空兼容旋转平台凭借0.00009°超高角度分辨率、蜗杆蜗轮驱动及98N高承载能力，可满足真空环境下的高精度角度定位需求。
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