池田屋新品ULVAC CR16B空冷多级罗茨干泵

池田屋新品ULVAC CR16B空冷多级罗茨干泵

池田屋新品ULVAC CR16B空冷多级罗茨干泵

摘要： 在半导体、电子器件及实验室的清洁真空应用中，结构紧凑且无需水冷氮气的干式真空泵是降低运行成本与提升系统灵活性的关键。池田屋全新引入的日本ULVAC（爱发科）CR16B型空冷多级罗茨干泵，排气室无油、转子非接触运行，无需冷却水和轴封氮气，极限压力≤3.0 Pa，可选配气镇机构处理水蒸气，为load lock、真空干燥及镀膜设备的清洁排气提供了高性价比的解决方案。

正文：

在半导体镀膜、Load Lock室抽空、真空干燥及实验室洁净气体排气等应用中，真空泵的可靠性、运行成本与安装便利性直接影响设备的综合效率。传统水冷干泵需要配套冷却水循环系统，且轴封氮气消耗增加了长期运营成本，限制了设备的小型化与灵活部署。为应对这一需求，池田屋引入日本ULVAC CR16B型空冷多级罗茨干泵。

CR16B是ULVAC CR系列中*小排气量的型号，属于获得国际标准（CE、cTUVus）的风冷式罗茨型干泵。其核心优势在于排气室内不使用真空油，转子和汽缸为非接触式结构，可长时间稳定运转。该泵采用空冷设计，无需冷却水，也不需要轴封氮气，显著降低了运行成本与配套设施的投入。

在核心性能方面，CR16B的最大排气速度达16 m³/h（280 L/min），极限压力≤3.0 Pa。电源支持单相100V、200V及三相200V，电机额定功率0.72 kW，灵活适配不同供电环境。吸气口和排气口均为KF25标准法兰，重量仅35kg。

在功能扩展方面，CR16B支持选配气镇机构（针阀或电磁阀+针阀），最大水蒸气处理量＜300 g/h，可用于真空干燥等水蒸气排出场景。标准附件包括电源用连接器、信号用连接器、使用说明书、空气过滤器及护套。用户还可选配消音器（RS-01+套件D或EFS-11-NW25/2/2516简易型消音器）及橡胶脚垫等配件。

在应用场景方面，CR16B广泛适用于空气、惰性气体等洁净气体的真空排气，真空干燥等水蒸气排出（需使用气镇），以及溅射、蒸镀等真空设备的辅助排气。

行业观察人士指出，在清洁真空应用中，无需水冷和氮气的空冷干泵正成为实验室和小型设备的标准配置。池田屋此次引入的ULVAC CR16B空冷多级罗茨干泵，以其无油无氮设计、紧凑轻量结构及低运行成本等核心优势，为国内半导体、电子器件及实验室真空应用提供了高性价比的解决方案。

综合来看，该产品的推广应用，有助于提升清洁真空系统的经济性与部署灵活性，为科研与先进制造提供坚实的技术支撑。