池田屋新品ULVAC RS-01消音器套件

池田屋新品ULVAC RS-01消音器套件

池田屋新品ULVAC RS-01消音器套件

摘要： 在半导体、电子器件及一般工业的真空系统中，干式真空泵运行产生的噪音是影响工作环境与设备布局的重要因素。池田屋全新引入的日本ULVAC（爱发科）RS-01型消音器套件，专为ULVAC多级罗茨型干泵设计，通过卡箍直接连接泵排气口，可实现最高19dB(A)的显著降噪效果，为洁净真空环境提供了高效、便捷的噪音治理解决方案。

正文：

在半导体制造、电子器件生产及一般工业的真空系统中，干式真空泵在运行过程中产生的高频排气噪音，不仅影响操作人员的工作环境，还可能对精密设备的振动敏感度构成潜在干扰。传统消音方案往往需要复杂的管路改造或额外占用空间。为应对这一挑战，池田屋引入日本ULVAC RS-01型消音器套件。

RS-01属于ULVAC RS系列消音器套件，是一款针对干式真空泵排气噪音设计的专用消音器。其核心优势在于可通过卡箍直接连接到泵的排气口，无需复杂的管路改造，安装简便快捷。该消音器适用于CR60B、LR60、LR90、LR300、GR60A、GR90A等多款ULVAC干式真空泵型号。

在降噪性能方面，根据ULVAC测试数据（极限压力状态、导入稀释气体5SLM条件下），RS-01在50Hz电源频率下可实现11dB(A)的降噪效果（从81dB(A)降至70dB(A)）；在60Hz电源频率下可实现19dB(A)的显著降噪效果（从88dB(A)降至69dB(A)）。这一降噪能力可有效改善真空泵运行时的噪音水平，为操作人员提供更舒适的工作环境。

在配套规格方面，RS-01套件A包含卡箍1个、O型圈1个，适配CR60B、LR60、LR90、LR300、GR60A、GR90A等泵型。排气口法兰为KF40标准接口，便于快速安装。消音器本体材质为SUS304不锈钢，表面经GBB处理，重量约4.1kg，结构紧凑耐用。

在应用场景方面，RS-01广泛适用于半导体刻蚀与沉积设备、真空镀膜系统、Load Lock室真空系统、真空干燥设备等需要使用ULVAC干式真空泵的各类工业真空系统的排气噪音治理。

行业观察人士指出，在工业真空系统设计中，排气噪音的控制是改善工作环境与满足环保法规的重要环节。池田屋此次引入的ULVAC RS-01消音器套件，以其最高19dB(A)降噪效果、简便的卡箍安装方式及广泛的泵型适配性等核心优势，为国内真空系统用户提供了高效便捷的排气降噪解决方案。

综合来看，该产品的推广应用，有助于改善真空泵运行环境噪音水平，提升工业现场的工作舒适度与设备布局灵活性，为制造与科研应用提供坚实的技术支撑。