池田屋精品！ULVAC ECO-SHOCK ES4A干泵节能附件

一、产品概述

ULVAC爱发科推出的 ECO-SHOCK 系列干泵节能附件，是一款通过安装在现有干式真空泵排气口上，实现大幅节电的创新型附件 。型号 ES4A 是该系列中的大功率规格，最大功耗400W，适用于溅射设备装载/卸载室等需要频繁排气的干泵系统 。该产品在1000Pa以下连续运转时间较长的用途中，可将干泵耗电量最大减少80%，同时还有抑制干泵发热、降低排气噪音的效果 。

二、产品规格

三、节能效果实测

ES4A 安装效果实测 

 注：1 电源频率60Hz；2 密封气体 5SLM；3 包含 ECO-SHOCK ES4A 功耗；4 300L 腔室反复排气 60 秒节拍的测量示例。

四、核心设计特征

1. 显著节能效果
ES4A 可与 ULVAC 的 LR/HR/UR 系列干泵配合使用，在极限压力运行时，实测节电率可达 55%～59%，同时抑制干泵发热，降低空调设备的电力消耗 。

2. 干泵性能提升
安装后有望提升极限压力性能，可在全压力区域内保持排气速度不下降，还可降低排气噪音 。

3. 适用范围

• 适用于排出空气、氮气、氩气等惰性气体的干泵 

• 尤其适用于溅射设备等装载/卸载室用的干泵 

• 在 1000Pa 以下连续运转时间较长的用途中

4. 安装简便
通过将阀单元安装在排气管道上即可完成安装，部分干泵型号可能需要在安装前进行改造，请联系 ULVAC 服务中心 。

五、注意事项

• 不能用于抽排易燃、助燃、有毒性气体 

• ECO-SHOCK 不适用于部分爪式、螺杆式或轴封式干泵，请咨询 ULVAC 确认兼容性 

• 安装方式因干泵型号和结构而异（例如 LR3600/LR3601(-R) 安装 ECO-SHOCK 需要进行改造）

• ES4A 的阀单元为选配件，需另行订购 

六、典型应用场景

七、总结

ULVAC ECO-SHOCK ES4A 干泵节能附件通过安装在干式真空泵的排气口上，可在不降低排气速度的前提下，实现最大 59% 的节电效果（与 ULVAC 公司产品相比）。同时具备抑制发热、降低排气噪音、提升极限压力性能等多重优势，适用于溅射设备装载/卸载室等需要频繁排气的惰性气体排气系统。ES4A 适用于 LR1800、LR3601-R 等中型和大型干泵的节能改造，是降低真空系统运行成本的有效方案。