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Product CategoryULVAC爱发科推出的 RDA-501H 多级罗茨型干泵，是一款实现与油旋转泵同等性能的无油干式真空泵。型号 RDA-501H 有效排气速度 500 L/min，极限压力可达 8.0×10⁻² Pa（F.A 开时），具备从大气压到极限压力全范围运行能力，无需冷却水，适用于分析设备、气体回收系统、镀膜设备及涡轮分子泵前级泵等应用场景。
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | RDA-501H |
| 有效排气速度 | 500 L/min |
| 极限压力（F.A开时） | ≤ 8.0×10⁻² Pa |
| 极限压力（F.A关时） | ≤ 6.0 Pa |
| 电动机 | 720W + 10W DC 电机 |
| 电源电压（单相） | 100～115V / 200～240V |
| 电源电压（三相） | 200～240V |
| 全负荷电流（单相） | 10/5 A |
| 全负荷电流（三相） | 5 A |
| 重量 | 38 kg |
| 吸气口径 | KF-25 |
| 排气口径 | KF-25 |
| 使用环境温度 | 5 ～ 40℃ |
| 最大水分吸引量 | ≤ 300 g/h |
| 最大尺寸（RDA-501H） | 180(W) × 520(L) × 377(H) mm |
| 最大尺寸（RDA-501HA） | 180(W) × 588(L) × 377(H) mm |
1. 干式无油设计
采用多级罗茨转子结构，泵体内无油运行，不会发生真空油的返流和油雾，排气清洁。
2. 全压力范围运行
可从大气压力到极限压力范围内连续运行，无需旁通管路。
3. 强水蒸气应对能力
最大水分吸引量达 300 g/h，适用于含有水蒸气的排气工艺。
4. 无需冷却水
采用空冷设计，无需配备冷却水配管。
5. 长寿命
无滑动部件，磨损极小，使用寿命长。
6. 多种电源对应
单相（100-240V）和三相（200-240V）均可适用，适配不同现场电源条件。
| 型号 | 认证标准 | 1Φ100～115V | 1Φ200～240V | 3Φ200～240V |
|---|---|---|---|---|
| RDA-501H | — | — | ● | ● |
| RDA-501HA | cTUVus | ● | ● | ● |
| 应用领域 | 说明 |
|---|---|
| 分析设备 | 质谱仪、电子显微镜等的前级泵 |
| 气体回收系统 | 稀有气体的回收与循环 |
| 镀膜设备 | 溅射、蒸镀等真空镀膜工艺 |
| 涡轮分子泵前级泵 | 作为 TMP 的前级泵使用 |
| 氦检漏仪 | 检漏系统的真空泵 |
| 半导体制造工艺 | 无油清洁环境下的排气 |
电源条件：确认现场电源为单相或三相，电压是否在适用范围内
认证要求：如需 cTUVus 认证，选择 RDA-501HA 型号
安装环境：仅限室内使用，环境温度 5～40℃
排气成分：不适用于爆炸性、易燃性、有毒或腐蚀性气体
粉尘防护：含粉尘或生成物的气体需安装吸气阱
吸入粉末或生成物会导致泵损坏，请使用吸气阱
禁止抽排有害、爆炸性、易燃性或腐蚀性气体，否则可能导致故障、爆炸或火灾
仅供室内使用，请勿安装于下雨或淹水的地方或室外
泵的重量约 38kg，搬运时请注意安全
使用环境温度低于 5℃ 时，泵内部件可能卡死，导致泵停止运行
ULVAC RDA-501H 多级罗茨型干泵通过六段罗茨转子结构和无油干式设计，为分析设备、镀膜工艺及半导体制造等应用提供了一套清洁、高性价比的真空解决方案。其 500 L/min 的排气速度、8.0×10⁻² Pa 的极限压力及无需冷却水的设计，适用于需要清洁真空的各类工业和研究场景。
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