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Product CategoryULVAC爱发科推出的 DIS-90 涡旋式干泵，是一款采用双绕式涡旋结构的两阶段干式真空泵。型号 DIS-90 设计排气速度 90 L/min（50Hz）/ 108 L/min（60Hz），极限压力可达 5 Pa，具备从大气压到极限压力全范围运行能力。该产品采用无油涡旋设计，低振动、低噪音，维护周期可通过计时表控制，适用于分析设备、气体回收系统、镀膜设备及半导体制造工艺等应用场景。
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 型号 | DIS-90 |
| 设计排气速度（50Hz） | 90 L/min |
| 设计排气速度（60Hz） | 108 L/min |
| 极限压力 | 5 Pa |
| 电动机 | 单相 100/115/200/230V，150W，4P 电容器启动·运行 |
| 全负荷电流（50Hz） | 2.6/1.3 A（100/200V） |
| 全负荷电流（60Hz） | 2.1/2.2/1.1/1.1 A（100/115/200/230V） |
| 重量 | 14 kg |
| 吸气口径 | KF-25 |
| 排气口径 | KF-16 |
| 使用环境温度 | 5 ～ 40℃ |
| 水蒸气处理量 | ≤ 5 g/day（AF 开时，室温25℃，湿度60%以下） |
| 噪音水平 | ≤ 52 dB（AF 开时）/ ≤ 57 dB |
| 最大尺寸 | 214(W) × 308(L) × 225(H) mm |
1. 双绕式涡旋结构
采用 1 根轨道螺旋和 2 根固定螺旋的双绕式设计，实现高效排气和优异的极限真空度。
2. 干式无油设计
泵腔内无油运行，排气清洁，不会发生真空油的返流和油雾，适用于对清洁度要求高的工艺。
3. 全压力范围运行
可从大气压力到极限压力范围内连续运行，无需旁通管路。
4. 低振动·低噪音
噪音水平 ≤ 52 dB（AF 开时），适合在实验室和安静环境中使用。
5. 空气冲洗功能
通过空气冲洗（Air Flash）操作，可排出残留在泵中的水分，并具有恢复极限压力的效果。
6. 内置安全保护
配备自动复位型热保护器等安全设计，防止电机过载。
7. 紧凑轻量
重量仅 14kg，外形小巧，便于安装在有限空间内。
| 型号 | 认证标准 | CE 自我宣言 | 1Φ 100V系 | 1Φ 200V系 | 3Φ 200V系 | 3Φ 400V系 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| DIS-90 | cTUVus | ● | ●（可通过更换端子板切换） | — | — | — |
注：cTUVus 认证表示本产品已通过国际第三方产品安全测试和认证，符合美国标准。
| 应用领域 | 说明 |
|---|---|
| 分析设备 | 质谱仪、电子显微镜等的前级泵 |
| 气体回收系统 | 稀有气体的回收与循环 |
| 镀膜设备 | 溅射、蒸镀等真空镀膜工艺 |
| 涡轮分子泵前级泵 | 作为 TMP 的前级泵使用 |
| 氦检漏仪 | 检漏系统的真空泵 |
| 半导体制造工艺 | 无油清洁环境下的排气 |
电源条件：单相 100V/200V 系，可通过更换端子板切换电压
排气速度需求：50Hz 下 90 L/min，60Hz 下 108 L/min
安装环境：仅限室内使用，环境温度 5～40℃
水蒸气处理：有少量水蒸气时，可通过空气冲洗功能（AF 开）将处理量提高至 5 g/day
排气成分：不适用于爆炸性、易燃性、有毒或腐蚀性气体
吸入粉末或生成物会导致泵损坏，请使用吸气阱
禁止抽排有害、爆炸性、易燃性或腐蚀性气体，否则可能导致故障、爆炸或火灾
仅供室内使用，请勿安装于下雨或淹水的地方或室外
维护周期可通过计时表控制，建议定期进行检查和保养
空气冲洗操作不仅排出残留在泵中的水，还具有恢复极限压力的效果
ULVAC DIS-90 涡旋式干泵通过双绕式涡旋结构和干式无油设计，为分析设备、镀膜工艺及半导体制造等应用提供了一套清洁、低噪音的真空解决方案。其 90 L/min 的排气速度、5 Pa 的极限压力及 52 dB 的低噪音水平，适用于需要清洁真空和安静运行环境的各类工业和研究场景。
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