池田屋新品ULVAC MS系列螺杆型干式真空泵

池田屋新品ULVAC MS系列螺杆型干式真空泵

池田屋新品ULVAC MS系列螺杆型干式真空泵

摘要： 在半导体刻蚀、真空热处理及锂电池制造等工艺中，腐蚀性气体与粉尘对真空泵的耐用性提出严峻挑战。池田屋全新引入的日本ULVAC（爱发科）MS系列螺杆型干式真空泵，采用特殊涂层处理与独特的转子轴设计，显著提升了耐腐蚀性与粉尘排出性能，支持从大气压到极限压力的全压力区域连续运行，为半导体、电子器件及化工领域的真空排气系统提供了高可靠性的干式真空解决方案。

正文：

在半导体刻蚀与去胶设备、真空热处理炉以及锂电池电极干燥等工艺中，真空泵常常需要面对腐蚀性气体和工艺粉尘的双重考验。传统油封泵不仅存在油蒸汽回流污染工艺腔室的风险，且易被腐蚀性介质损坏。无油干式真空泵虽然解决了洁净问题，但普通干泵在处理含腐蚀性气体或粉尘的工艺时，耐久性往往不足。为应对这一挑战，池田屋引入ULVAC MS系列螺杆型干式真空泵。

MS系列是ULVAC在传统LS系列基础上开发的工艺强化型螺杆干泵。其核心优势在于耐腐蚀与耐粉尘能力。通过对转子轴、气缸等核心部件进行特殊涂层处理，有效抵御了工艺气体的化学侵蚀。同时，采用ULVAC独特的转子轴设计，实现了高效的粉末排出性能，显著降低了因粉尘堆积导致的泵体故障风险，延长了维护周期。此外，该泵具备在从大气压到极限压力的全压力范围内连续运行的能力，适应性。

MS系列提供三款型号以满足不同抽速需求：MS120A（最大抽速115 m³/h）、MS600A（最大抽速560 m³/h）和MS1200A（最大抽速980 m³/h）。其极限压力分别可达≤0.6 Pa（MS120A）和≤0.1 Pa（MS600A/MS1200A）。该系列泵采用三相200V或400V电源，功耗分别为2.4kW、3.1kW和3.1kW，冷却水流量要求大于4.0 L/min，噪音水平在61至64 dB(A)之间。泵体提供KF、VG及ISO-F等多种法兰接口，并标配消音器及CE、cTUVus安全认证。用户还可根据工艺需求选配FKM或FFKM密封材质，进一步增强耐化学性。

行业观察人士指出，在半导体与新能源电池制造向高纯度、高精度方向发展的趋势下，耐腐蚀、耐粉尘的干式真空泵已成为关键制程的核心装备。池田屋此次引入的ULVAC MS系列螺杆型干式真空泵，以其强化耐腐蚀设计、高效粉尘排出能力及宽压力范围连续运行等核心优势，为国内半导体、电子器件及锂电池制造领域的真空系统提供了可靠的干式泵选择。

综合来看，该系列产品的推广应用，有助于提升腐蚀性与含粉尘工艺的真空系统可靠性，为制造与工艺优化提供坚实的技术支撑。