池田屋新品ULVAC LS系列螺杆型干式真空泵

池田屋新品ULVAC LS系列螺杆型干式真空泵

池田屋新品ULVAC LS系列螺杆型干式真空泵

摘要： 在半导体镀膜、溅射及真空干燥等工艺中，兼具高速排气与低功耗的干式真空泵是提升设备效率与降低运行成本的关键。池田屋全新引入的日本ULVAC（爱发科）LS系列螺杆型干式真空泵，通过的螺杆形状与节电技术融合，实现大气压附近最大80m³/h的排气速度与低至0.6kW的极限功耗，提供120至1000m³/h四种抽速型号，为清洁工艺与轻工艺场景提供了高性价比的真空解决方案。

正文：

在半导体镀膜与溅射、load lock室抽空以及真空干燥、冷冻干燥等工艺中，干式真空泵的排气速度与能耗直接影响到设备的生产效率与运营成本。传统干式真空泵为提升抽速往往需消耗大量电能，且噪音问题突出。为应对这一挑战，池田屋引入日本ULVAC LS系列螺杆型干式真空泵。

LS系列通过的螺杆形状设计与ECO-SHOCK节电技术的融合，实现了高速排气与低功耗的兼顾。其大气压附近的排气速度最大可达80m³/h，相较传统真空泵排气时间可缩短约20%。C规格型号标配ECO-SHOCK技术，极限压力下的消耗电量可降至0.6kW以下，显著降低长期运行成本。标配专用消音器，极限压力下噪音值低至61dB(A)，解决了干式真空泵的噪音困扰。

LS系列提供LS120A、LS300A、LS600A、LS1200A四款型号，最大排气速度分别为120、380、600、1000m³/h，极限压力LS120A可达≤0.6Pa，其他型号可达≤0.1Pa。用户可根据设备大小与用途选择最佳排气容量的泵。该系列无需轴封气体，以氮气和空气排气为主的清洁工艺可有效降低运行成本。如需进一步提高排气速度，可搭配机械增压泵使用，组合排气速度可达120～1200m³/h。

在应用方面，LS系列提供两种规格选择：C规格（清洁工艺型） 内置ECO-SHOCK低功耗技术，适用于溅射、镀膜、load lock室抽空及TMP辅助等空气和N₂排气场景；L规格（轻工艺型） 具备表面处理和净化功能，适用于水蒸汽和挥发性药液排气的真空干燥、冷冻干燥、灰化及一般工业用途。

行业观察人士指出，在半导体与工业制造领域，兼顾高抽速与低能耗的干式真空泵正成为产线升级的重要方向。池田屋此次引入的ULVAC LS系列螺杆型干式真空泵，以其高速排气、低功耗运行及低噪音设计等核心优势，为国内清洁工艺与轻工艺场景提供了高效节能的真空解决方案。

综合来看，该系列产品的推广应用，有助于提升半导体镀膜、load lock抽空及真空干燥等工艺的排气效率与能源利用率，为制造与工艺优化提供坚实的技术支撑。