池田屋新品ULVAC HR系列多级罗茨型干泵

池田屋新品ULVAC HR系列多级罗茨型干泵

池田屋新品ULVAC HR系列多级罗茨型干泵

摘要： 在CVD、刻蚀及ALD等半导体工艺中，副产物气体在低温区域易凝华结晶，导致真空泵堵塞与性能劣化。池田屋全新引入的日本ULVAC（爱发科）HR系列多级罗茨型干泵，通过泵体高温均热化设计，将工艺中产生的升华性排气物质以气体状态排出，有效抑制结晶物附着，为半导体与电子器件制造领域的苛刻工艺提供了高可靠性的真空排气解决方案。

正文：

在CVD（化学气相沉积）、刻蚀及ALD（原子层沉积）等半导体制造工艺中，反应副产物气体在真空泵内部的低温区域极易发生凝华结晶（固化）。这些结晶物附着在泵内壁及转子表面，不仅会降低泵的排气性能，严重时更会导致泵体卡死停机，是影响设备稼动率与维护成本的常见难题。为应对这一挑战，池田屋引入日本ULVAC HR系列多级罗茨型干泵。

HR系列的核心优势在于通过高温区域的泵体均热化设计，使泵体内部温度场均匀分布并维持在一定高温水平。这一设计可确保CVD、刻蚀等工艺中产生的升华性排气物质在通过真空泵时始终保持气态，有效避免其在泵内壁凝华结晶。对于温度要求更高的工艺，ULVAC还提供可达到更高温的UR系列。

在耐腐蚀与密封方面，HR系列对主要零部件采用表面硬度高、耐腐蚀性优异的特殊表面处理，显著降低腐蚀性气体排气时对泵内部的化学侵蚀。泵体搭载屏蔽电动机，形成氦气密封的密闭结构，确保高安全性。产品已采取1000msec以内的瞬停对策，有效应对电力波动对泵运行的影响。

在规格方面，HR系列提供HR60、HR90、HR300、HR600、HR1200五款型号，最大排气速度覆盖62至1012m³/h（50Hz），到达压力HR60/90为5Pa，HR300及以上为0.67Pa。吸气口提供VG50至VG100（KF50至KF100）多种接口，排气口为KF40。该系列支持数据通信功能，可通过专用软件读取泵运转状态数据及警告/报警履历，实现集中监控。

在应用场景方面，HR系列广泛适用于CVD装置、刻蚀装置、灰化装置及ALD/ALH等先进薄膜沉积工艺的真空排气系统。

行业观察人士指出，在半导体先进制程中，真空泵对凝华性副产物的处理能力直接关系到设备稼动率与维护周期。池田屋此次引入的ULVAC HR系列多级罗茨型干泵，以其泵体高温均热化、优异耐腐蚀性及瞬停保护与通信监控等核心优势，为国内半导体与电子器件制造领域的高温工艺提供了可靠的真空排气保障。

综合来看，该系列产品的推广应用，有助于提升CVD、刻蚀及ALD工艺的真空系统可靠性，为半导体先进制程的稳定运行提供坚实的技术支撑。