池田屋新品ULVAC GR60A多级罗茨型干泵

池田屋新品ULVAC GR60A多级罗茨型干泵

池田屋新品ULVAC GR60A多级罗茨型干泵

摘要： 在真空干燥、气体置换及成膜设备Load Lock室等一般工业应用中，高负荷与反复抽气工况对真空泵的耐久性提出严苛要求。池田屋全新引入的日本ULVAC（爱发科）GR60A型多级罗茨型干泵，以久经市场考验的LR/HR系列技术为基础，针对一般产业设计简洁坚固结构，最大排气速度达80 m³/h，支持大气至真空的高负荷连续运行，为洁净气体抽气及Load Lock室应用提供了经济可靠的真空解决方案。

正文：

在真空干燥设备、真空气体置换系统以及各类成膜设备的Load Lock室（出入料室）等一般工业场景中，真空泵常面临在大气压与真空之间反复抽气的高负荷工况。传统干式真空泵在耐用性与成本之间难以取得平衡。为应对这一挑战，池田屋引入日本ULVAC GR60A型多级罗茨型干泵。

GR60A属于ULVAC GR系列，该系列是基于市场业绩和信赖度高的LR/HR系列设计的面向一般产业的简洁结构泵。最大排气速度在50Hz下达62 m³/h（1030 L/min），60Hz下达80 m³/h（1333 L/min），极限压力为5.0 Pa，可满足大多数一般产业真空工艺的需求。该泵可应用于大气与真空之间反复抽气的高负荷领域，特别适用于追求高吞吐量的Load Lock室（装载/卸载室）排气。

在设计与配置方面，GR60A采用通用感应电机（输出2.2kW），支持多电压兼容，并可选配防爆电机等特殊规格。吸气口为VG50（或ISO63F），排气口为NW40，重量128kg。泵体标配DRP表面处理，主要零部件具备耐腐蚀性，延长了泵的使用寿命。冷却水流量要求>5.0L/min，氮气轴封流量固定为5.0SLM。

在应用场景方面，GR60A广泛适用于空气、惰性气体等洁净气体的真空排气，各种成膜设备的Load Lock室排气，以及真空干燥、真空气体置换和真空脱泡等一般产业应用。

行业观察人士指出，在一般工业真空应用中，兼具高性能与简洁结构的干泵是提升设备经济性与可靠性的关键。池田屋此次引入的ULVAC GR60A多级罗茨型干泵，以其高负荷耐久性、80 m³/h抽速及简洁坚固设计等核心优势，为国内一般产业真空应用提供了高性价比的解决方案。

综合来看，该产品的推广应用，有助于提升真空干燥、Load Lock及气体置换等环节的真空系统可靠性，为一般工业生产与设备制造提供坚实的技术支撑。